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簡要描述：266nm 連續(xù)波單縱模固態(tài)激光器具有好的相干效果。這個(gè)激光器工作在單縱模，內(nèi)置集成諧振腔。光束質(zhì)量好，輸出功率高。
產(chǎn)品型號：FQCW266-100廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2022-08-08訪 問 量：812產(chǎn)品分類
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| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 組成要素 | 固體激光器產(chǎn)品及設(shè)備 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材,電子 |
筱曉光子提供FQCW266nm連續(xù)光固態(tài)激光器，具有好的相干效果。這個(gè)激光器工作在單縱模，內(nèi)置集成諧振腔。光束質(zhì)量好，輸出功率高。
● 266nm
● 連續(xù)波
● 單頻率
● 低強(qiáng)度噪聲
● M2<1.3, TEM00
● 高達(dá)100mW輸出功率
● 傳導(dǎo)性冷卻
● 設(shè)計(jì)
激光頭（單位mm）
控制單元（單位mm）
● 拉曼光譜、
● 晶圓檢測、
● 光譜學(xué)
● 要求相干長度的領(lǐng)域
項(xiàng)目 | 屬性 | 參數(shù)值 |
光學(xué)參數(shù) | 波長 | 266 ± 1 nm |
輸出功率 | 100 ± 3 mW | |
輸出功率可調(diào) | 10 – 110 mW | |
線寬 | < 300 kHz | |
相干長度 | > 1000 m | |
光束質(zhì)量因子 M2 | < 1.3, TEM00 | |
極化取向和純度 | 垂直， > 100:1 | |
光束直徑 | 0.6 ± 0.1 mm | |
光束發(fā)散角 | < 0.8 mrad | |
光束指向穩(wěn)定性（2） | < 3 µrad/K, < 3 µrad/h | |
靜態(tài)對齊公差（2） | 橫向±0.25mm，角度±2.5mrad | |
功率穩(wěn)定性（1） | < 1 %rms | |
噪聲 (100 kHz – 10 MHz) | < 1 %rms | |
電學(xué)參數(shù) | 平均功耗（最大值） | < 100 W (200 W) |
線電壓 | 90 - 250 V AC (50-60 Hz) | |
通信接口 | USB / RS232 | |
安全特征 | 鑰匙開關(guān)，聯(lián)鎖 | |
附件 | 加溫時(shí)間（冷啟動） | < 15 min |
操作溫度（激光頭） | 20-35°C不凝結(jié) | |
激光頭尺寸 | 91x270x379mm3(H x W x L) | |
控制單元尺寸 | 115 x 363 x 325 mm3 (H x W x L) | |
激光頭重量 | 14.7 kg | |
控制單元重量 | 5.5 kg |
備注：
1、在溫度范圍20-35°C下預(yù)熱30分鐘后，溫度變化<1K/h。
2、對于激光束出口，規(guī)定了靜態(tài)對準(zhǔn)公差的位置和角度。
3、出口窗口配備手動窗口過濾器(MWS)，以防外部照片污染。 該激光系統(tǒng)配備了自動水晶篩(ACS)。
（*）受保護(hù)：DE10339210B4、EP1344105B1、US7027209B2、DE102010064382B4、US9429814B2
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