產(chǎn)品分類

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光學(xué)測(cè)量?jī)x器

相機(jī) 線寬測(cè)量?jī)x 光度儀/反射計(jì) 偏振分析儀/旋光儀顯微OCT掃頻測(cè)振/磁光克爾探測(cè)卡/感應(yīng)卡觀察儀/觀察鏡波前分析儀/波前傳感器示波器精密定位/光學(xué)平臺(tái) 功率計(jì) 自準(zhǔn)直儀光譜分析儀脈寬測(cè)量(相關(guān)儀等) 光束/光斑質(zhì)量分析儀干涉儀/標(biāo)準(zhǔn)具波長(zhǎng)計(jì) 相機(jī)/鏡頭/機(jī)器視覺

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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	價(jià)格區(qū)間	面議
組成要素	半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備	產(chǎn)地類別	進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,建材,電子

總覽

具有高分辨率和效率的多功能光譜儀

隨著在半導(dǎo)體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術(shù)的發(fā)展，極紫外輻射（EUV、XUV）已成為一個(gè)重要的工業(yè)意義。這導(dǎo)致對(duì)高分辨率和靈敏的診斷和測(cè)量技術(shù)的需求。因此，我們構(gòu)建了一個(gè)模塊化的 XUV / EUV 和軟 X 射線光譜儀，可用于等離子體光譜學(xué)、源診斷和計(jì)量學(xué)。它te別適用于激光等離子體源（LPS）和高次諧波源（高次諧波產(chǎn)生high harmonic generation，HHG）。

該光譜儀設(shè)計(jì)靈活，適用于多種應(yīng)用。對(duì)于廣泛的幾何形狀，可以獲得非常高的光譜分辨率。通常，分辨率僅受檢測(cè)器系統(tǒng)像素大小的限制（XUV CCD 為 13.5 µm）。光譜儀的所有部件都是 UHV 級(jí)的。

XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀 2-100nm,XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀 2-100nm

通用參數(shù)

寬帶高光譜分辨率

普通光譜儀針對(duì)一個(gè)波長(zhǎng)的特定分辨率進(jìn)行了優(yōu)化。相比之下，我們的專業(yè)設(shè)計(jì)可在寬帶寬下實(shí)現(xiàn)高分辨率。例如，我們的 XUV 光譜儀在 12-41 nm 的整個(gè)帶寬內(nèi)達(dá)到<0.08 2="" 100="" nm="">10000 的超高分辨率。

圖片4.png

操作方式及可用性

我們靈活的光譜儀提供多種操作模式，可以在操作過(guò)程中改變。

通過(guò)使用行程范圍為幾厘米的多軸電動(dòng)工作臺(tái)，用戶可以輕松地對(duì)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)。此外，可以在光束路徑中在線放置不同的光學(xué)器件來(lái)測(cè)量不同的光束特性。該光譜儀具有以下工作模式:(1)XUV光束檢測(cè)，(2)角分辨光譜，(3)高效、光譜分辨率高的成像光譜。

下圖為角分辨光譜(a、b)和成像光譜(c、d)的測(cè)量結(jié)果。

圖片5.png

我們提供

優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

為您的應(yīng)用程序全定制

2-100 nm 的光譜范圍

高達(dá) λ/Δλ > 10000 的高分辨率

多功能設(shè)置：電動(dòng)載物臺(tái)和自適應(yīng)法蘭

不透光的設(shè)置：可以集成遮光罩

超高真空 (UHV, < 10-9 mbar) 條件

在線操作模式&對(duì)準(zhǔn)&光束檢測(cè)

狹縫和無(wú)狹縫設(shè)置

出色的信噪比 (SNR) 和Max. 的光收集效率

公司簡(jiǎn)介
筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司是一家被上海市評(píng)為高新技術(shù)企業(yè)的專業(yè)光學(xué)服務(wù)公司，業(yè)務(wù)涵蓋設(shè)備代理以及項(xiàng)目合作研發(fā)，公司位于大虹橋商務(wù)板塊，擁有接近2000m2的辦公區(qū)域，建有500平*的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實(shí)驗(yàn)室，為國(guó)內(nèi)外客戶提供專業(yè)技術(shù)支持服務(wù)。公司主要經(jīng)營(yíng)光學(xué)元件、激光光學(xué)測(cè)試設(shè)備、以及光學(xué)系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)。依托專業(yè)、強(qiáng)大的技術(shù)支持，以及良好的商務(wù)支持團(tuán)隊(duì)，筱曉的業(yè)務(wù)范圍正在逐年增長(zhǎng)。目前業(yè)務(wù)覆蓋國(guó)內(nèi)外各著名高校、頂級(jí)科研機(jī)構(gòu)及相關(guān)領(lǐng)域等諸多企事業(yè)單位。筱曉擁有一支核心的管理團(tuán)隊(duì)以及專業(yè)的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，奠定了我們?cè)谠O(shè)備的拓展應(yīng)用及自主研發(fā)領(lǐng)域堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
主要經(jīng)營(yíng)
激光器/光源
半導(dǎo)體激光器（DFB激光器、SLD激光器、量子級(jí)聯(lián)激光器、FP激光器、VCSEL激光器）
氣體激光器（HENE激光器、氬離子激光器、氦鎘激光器）
光纖激光器（連續(xù)激光器、超短脈沖激光器）
光學(xué)元件
光纖光柵濾波器、光纖放大器、光學(xué)晶體、光纖隔離器/環(huán)形器、脈沖驅(qū)動(dòng)板、光纖耦合器、氣體吸收池、光纖準(zhǔn)直器、光接收組件、激光控制驅(qū)動(dòng)器等各種無(wú)源器件
激光分析設(shè)備
高精度光譜分析儀、自相關(guān)儀、偏振分析儀，激光波長(zhǎng)計(jì)、紅外相機(jī)、光束質(zhì)量分析儀、紅外觀察鏡等
光纖處理設(shè)備
光纖拉錐機(jī)、裸光纖研磨機(jī) 。